Интернаука №16 ((часть2) 2020 - [7]

компьютерную систему управления и контроля робота – оператора, функционально связанную с

управляющими комплексными компьютерными системами

Указанный модуль включает несколько тесно

Система полностью автоматизирована и управ-

связанных функционально технических систем,

ляется и контролируется программируемыми про-

каждая из которых может быть квалифицирована

цессорами, связанными с источником питания для

как надсистема.

гальванического процесса, с гибким регулировани-

Совокупность этих систем включает – модули

ем плотности тока в зависимости от площади и

загрузки – разгрузки, локальные блоки загрузки –

толщины покрытия.

разгрузки, треки, центрифуги, блоки дозирования и

Система имеет два рабочих потока, из которых

подачи в зону обработки на стол центрифуги хими-

на рисунке показан один; Система управляется, ре-

ческих реагентов и фоторезистора, системы кон-

гулируется, настраивается и контролируется при

троля и т.п.

помощи нескольких программируемых контролле-

Трек включает несколько центрифуг, - рабочая

ров, информация, программы и команды, в которые

позиция для подготовки поверхностей под покры-

вводятся посредством сенсорного экрана.

тие, рабочая позиция для гальванического нанесе-

ния покрытия, рабочая позиция для финишной об-

работки платы после нанесения покрытия.

16

Журнал «Интернаука»

№ 16 (145), часть 2, 2020 г.

Рисунок 4. Рабочий трек установки для гальванических покрытий на платах тонкоплёночных

микросборок. Рабочий трек включает автономное устройство загрузки – разгрузки плат, установленное

на входе в процесс и на выходе из процесса

Что важно отметить, каждая локальная техниче-

всей иерархии, определяющей состав и функцио-

ская система, даже в статусе подсистемы низкого

нальные характеристики возглавляющей иерархию

уровня, благодаря высокому уровню унификации и

надсистемы.

стандартизации, обладает высоким потенциалом

интегративной адаптации в технических системах

Рисунок 5. Автоматическая, состоящая из двух технологических потоков, имеющая гибкий и

независимый вариант управления и контроля, установка для нанесения гальванических покрытий на

платы тонкоплёночных микросборок в условиях полупроводникового производства; Эта установка имеет

возможности для встраивания в поточные гибкие технологические модули, которые в свою очередь

могут интегрироваться в системы более высокого уровня

17

Журнал «Интернаука»

№ 16 (145), часть 2, 2020 г.

Ввиду того. что в конкретных производствен-

сетах, которые устанавливаются в начале и в конце

ных ситуациях, как правило разработки прототипов

технологического потока.

такого оборудования выполняются на уровне изоб-

Таким образом участия оператора в процессе не

ретения, правильные определения и системная ква-

требуется. так как все загрузочные и разгрузочные

лификация и классификация всех новых техниче-

операции выполняются при помощи робота – опера-

ских решений и их сочетаний в технических систе-

тора, а контроль всех операций и порядок прохож-

мах всех уровней иерархии крайне важны.

дения управляющих команд осуществляются про-

Как видно из рисунка, заготовки плат тонкоплё-

граммируемым процессором, контакт с которым

ночных микросборок, изготовленные из специаль-

осуществляется через сенсорную панель управле-

ной керамики (размер 48х60 мм), содержатся в кас-

ния.

Рисунок 6. Гибкий автоматический технологический модуль со стороны вводных устройств, на которые

робот загрузки – разгрузки устанавливает кассету с заготовками для плат тонкоплёночных микросборок

Манипулятор робота захватывает кассету из

поиска кассеты, идентификации и захвата кассеты,

ячейки накопителя, переносит её в положение сов-

переноса кассеты, ориентации положения кассеты в

мещённое с столом вводного устройства, после чего

трёх измерениях, ориентации кассеты по вертикали,

опускает кассету до контакта с столом и фиксирует

идентификации кассеты на столе вводного устрой-

её положение.

ства загрузки – разгрузки и финальной фиксации

Показанное сочетание локальных технических

кассеты на столе с последующей передачей функ-

систем, квалифицируется как сочетание подсистем,

ций конвейерному треку.

связанных в локальную, но тем не менее – надси-

Все указанные операции являются одновремен-

стему, за счёт определённого гибкого алгоритма

но и техническим заданием на разработку соответ-

всего комплексного и последовательного процесса –

ствующего программного обеспечения.

18

Журнал «Интернаука»

№ 16 (145), часть 2, 2020 г.

Рисунок 7. Технические решения, входящие и формирующие транспортные технические системы всех

уровней гибкого автоматического технологического модуля, начиная с транспортировки заготовок плат

тонкоплёночных микросборок от модуля загрузки – разгрузки к рабочим позициям и кончая комплексной

транспортной технической системой робота - манипулятора, способной быть адаптированной с

установками другого технологического направления и с компьютеризованными системами управления и